PROCOM (PROcesses of COMpounds) 一種提供2D與3D模擬的模擬軟體，讓使用者觀察半導體薄膜在常見的有基金屬化學氣相沉積法(MOCVD)下的成長。在已知沉積反應器的幾何形狀、化學物質種類和成長環境參數，PROCOM能夠基於精細的化學動力、質量及熱傳導模型預測半導體薄膜成長率、組成、厚度一致性、雜質滲入率和缺陷分布，更多細節請參考我們的 完整版PROCOM產品手冊 或 簡易版PROCOM產品手冊。